FEMAG 晶体生长多物理场仿真软件

FEMAG是一款晶体生长多物理场仿真软件，拥有晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真分析功能，可模拟各种晶体生长工艺，在半导体芯片、太阳能光伏、化合物半导体和人工晶体、单晶高温合金等领域具有广泛的应用。

一、FEMAG软件优势

1、模型先进，算法效率高，求解精度高

通过建立先进的、考虑多种耦合效应的传热、湍流等全局有限元模型（准稳态模型、逆向动态、直接动态模型），基于非结构化网格而开发的Navier-Stokes求解器，结合Newton-Raphson迭代法，可以准确地求解晶体生长过程中的多尺度复杂问题。

2、炉体设计技术成熟，优化生长过程效率高、方便

可以对复杂的轴对称/非轴对称热场进行全局模拟，提供用以预测复杂系统中物理变量的信息，从而帮助用户有效预测、控制晶体中的缺陷以及形状，改善、优化晶体生长炉内全局热场温度分布与晶体生长中特有的工艺参数，优化晶体生长的工艺过程与质量，满足对生产质量高、低成本、高使用寿命晶体的实际需求。

3、具有区熔法生长工艺仿真分析功能

具有丰富、全方面的分析功能，可以用于分析、优化不同的晶体生长工艺过程，有效地全局模拟分析复杂的2D/3D多场耦合问题；具有区熔法生长工艺仿真分析功能的晶体生长数值模拟软件。

二、产品模块  

• FEMAG/CZ 提拉法晶体生长仿真模块

• FEMAG/CZ/OX 化合物提拉/泡生法晶体生长仿真模块

• FEMAG/FZ 区熔法晶体生长仿真模块

• FEMAG/DS 定向凝固法晶体生长仿真模块

• FEMAG/VB VB/VGF法晶体生长仿真模块

• FEMAG/HEM 热交换法晶体生长仿真模块

• FEMAG/PVT 物理气相传输法晶体生长仿真模块

• FEMAG/TMF 外加磁场功能模块

三、功能特点

• 炉内温度分布计算

• 多组加热器布置、加热器功率预测

• 温度控制点设置

• 凝固界面形状预测与温度梯度分布计算

• 炉内全局热通量计算

• 全方面的熔体、气体流动模型

• 掺杂物浓度分布预测

• 热应力计算

• 点缺陷与微缺陷浓度预测

• 可与TMF模块耦合建立多种外加磁场

• 多种求解模式适应不同的计算需求

四、应用领域

• 光学级单晶锗的生长

• 晶体生长熔炉的设计

• YAG功能晶体的生长

• GaAs、CdTe晶体的生长

• 半导体、集成电路级单晶硅的生长

• 第三代半导体材料SiC晶体的生长

• 太阳能光伏单晶硅、多晶硅锭的生长

• 航空发动机涡轮叶片单晶高温合金的生长

• 氧化物（蓝宝石）、卤化物等LED光电晶体的生长